1.技术简介:
具有进口分子束外延系统,包括VeecoGen2,VeccoGenXcel,RiberMBE,VeecoGen.具有同时生长磷化物、砷化物及锑化物的你能力。团队拥有50多年的分子束外延材料生长及器件制作的经验,在器件及材料结构设计、外延材料生长、器件研制、MBE设备设计及定制化升级改造等多方面具有专业人才。
2.应用领域:
产品主要涉及高速通信器件、光收发模块芯片材料、半导体激光器及探测器、高效多节太阳能电池、自旋极化电子源等领域。
3.产品及服务:
MBE外延片,主要包括:
GaAs基、InP基、InAs基、GaSb基及InSb基红外探测器;
GaAs基、InP基及GaSb基多量子阱及量子级联激光器。
其他光电器件材料如自旋极化电子源等;
外延片尺寸:2英寸、3英寸、4英寸、6英寸及8英寸;
4.场地及设备条件:
硬件条件:
进口分子束外延系统,包括VeecoGen2,VeecoGenXcel,RiberMBE,VeecoGen.
材料表征系统,包括高精度X-射线四晶衍射仪、电化学电容-电压测试仪、霍尔测试仪、表面轮廓/颗粒度测试仪、原子力显微镜、金相显微镜等;
器件工艺线:包括原子层沉积/原子层刻蚀一体机、光刻机、刻蚀机、电子束蒸发、退火炉、球焊机等。
器件测试线:包括黑体、傅里叶变换红外光谱仪、低温探针台、半导体参数测试仪、激光光源、光探测器等。
5.合作方式:
本平台提供本公司的合作开发、代理销售的咨询工作,有意向咨询米格实验室成果转化处。